VERITAS鎢燈絲掃描電鏡系列
發布時間:2020/04/08

VERITAS系列掃描電鏡秉承EM科特(EmCrafts)電子顯微技術高分辨高效率的性能,內置CCD攝像機和導航功能可幫助用戶輕松地找到理想區域。
VERITAS系列掃描電鏡擁有大樣品倉室,內含5軸多功能電動樣品臺,可輕松測量大尺寸的樣品。并且VERITAS系列的樣品倉可同時安裝了多個樣本,減少樣品來回放置時因抽真空所使用的時間,從而達到快速分析測樣的目的,有效地提高檢測速度。
EM科特(EmCrafts)VERITAS系列產品技術亮點:
l大尺寸樣品分析 VERITAS系列可以分析常規SEM無法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓、磁盤
l無損樣品分析 無需切割即可分析樣品。例如PCB、半導體圖案分析
l較重樣品分析 能夠分析重達2kg的樣品。例如巖石、鐵礦石
l快速樣品分析 同時進行多個樣品的分析,大大提高工作效率,節約成本
技術指標:
分辨率 | 2nm |
放大倍數 | x10-x300000 |
電子槍 | LaB6/CeB6 |
探測器 | 二次電子探測器、背散射探測器 |
真空系統 | 全自動真空系統(<90s) |
顯示模式 | 聚焦模式 預覽模式 |
自動功能 | 聚焦 |