使用CUBE系列掃描電鏡進行異常點分析
發布時間：2023/09/12
在工業生產的過程中，由于設備、環境等外在因素影響，可能會導致生產出來的產品未達到出廠標準，這時就需要檢驗人員進行檢查，找到產生異常點的位置。異常點的尺寸通常來說都很微小，需要借助掃描電鏡來進行分析。
CUBE系列掃描電鏡可以在一個相對范圍內找到需要觀察的區域，并且通過EDS來分析該區域內的元素，增加數據，幫助分析。下面是我們使用CUBE系列掃描電鏡進行分析的兩個案例
案例一
樣本為一個金屬件，經過加工后物體表面有黑色的點狀物質，這會導致產品性能受限。
使用CUBE系列掃描電鏡拍攝后，從圖像中只能看出金屬件的表面確實有幾十微米級別的黑色物質，并不能判斷它的組成。所以又對該區域進行了面掃，從面掃結果中可以看出，黑色顆粒中的主要物質為碳。那么可以從中推斷該黑色顆粒應該是加工過程中，油類物質掉在金屬件上，從而導致的產品缺陷。
案例二
在工廠生產加工器件的過程中，會出現有碎屑掉落的情況。碎屑的尺寸較小，通常無法用常規光學顯微鏡判斷，這時我們需要借助SEM來進行分析。
從圖像中可以看出，碎屑的尺寸均小于1mm。
放大后再使用面掃進行元素分析。從面掃結果中，可以看出碎屑的元素主要有錳、鐵、碳和氧等多種元素。用戶根據鐵和錳的比例可以判斷碎屑的來源。
